في التحكم الصناعي، يعتبر التتابع الصلب (SSR) عنصرًا أساسيًا. يتكون من عازل ضوئي، دوائر تحكم، وشبه موصل قوي، والذي يقوم بفصل إشارات التحكم ذات الطاقة المنخفضة عن الأحمال ذات الطاقة العالية. يختلف SSR عن التتابعات الكهروميكانيكية لأنه لا يحتوي على ارتداء ميكانيكي، لديه أوقات استجابة أسرع بكثير، ويمكن تشغيله بترددات عالية (تصل إلى 100 كيلوهرتز). من بين أهم التطبيقات لـ SSR هي الماكينات الصناعية، الأجهزة الطبية، وأنظمة الطاقة المتجددة. يساعد اعتماديتها، صيانتها المنخفضة، والمتطلبات البسيطة للصيانة على تحسين كفاءة التشغيل.